Форвакуумдық үрлегіш
Қазақ Энциклопедиясы жобасынан алынған мәлімет
Форвакуумдық үрлегіш - өте жоғары вакуумды жасайтын үрлегіштің жұмыс істей бастауы үшін қажетті форвакуумды қамтамасыз ететін вакуумдық үрлегіш.<ref>Орысша-қазақша түсіндірме сөздік: Физика / Жалпы редакциясын басқарған э.ғ.д,, профессор Е. Арын – Павлодар: С. Торайғыров атындағы Павлодар мемлекеттік университеті, 2006. ISBN 9965-808-88-0</ref>
Дереккөздер
<references/>
